查看: 1393|回復(fù): 0

離子束輔助蝕刻

ID:864797 發(fā)表于 2021-1-6 11:10 | 顯示全部樓層 |閱讀模式

在半導(dǎo)體器件的制造中，蝕刻是指將選擇性地從襯底上的薄膜中去除材料的技術(shù)（在其表面上有或沒有先有結(jié)構(gòu)），并通過這種去除在襯底上形成該材料的圖案。該圖案由耐蝕刻工藝的掩模限定，該掩模的產(chǎn)生在光刻中詳細(xì)描述。一旦放置好掩模，就可以通過濕化學(xué)或“干”物理方法蝕刻不受掩模保護(hù)的材料。圖1顯示了此過程的示意圖。

半導(dǎo)體蝕刻（1月6）.docx

888.08 KB, 下載次數(shù): 1, 下載積分: 黑幣 -5

在半導(dǎo)體器件的制造中，蝕刻是指將選擇性地從襯底上的薄膜中去除材料的技術(shù)（在其表面上有或沒有先有結(jié)構(gòu)） ...

回復(fù)

使用道具舉報

返回列表

小黑屋|51黑電子論壇 | 管理員QQ:125739409;技術(shù)交流QQ群281945664

Powered by 單片機教程網(wǎng)

快速回復(fù) 返回頂部 返回列表

帳號		自動登錄	找回密碼
密碼			立即注冊

欧美极品高清xxxxhd,国产日产欧美最新,无码AV国产东京热AV无码,国产精品人与动性XXX,国产传媒亚洲综合一区二区,四库影院永久国产精品,毛片免费免费高清视频,福利所导航夜趣136

離子束輔助蝕刻