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標題: 濕法蝕刻工藝 [打印本頁]

作者: jfkj2020 時間: 2021-1-8 10:21
標題: 濕法蝕刻工藝

濕法蝕刻工藝的原理是使用化學溶液將固體材料轉化為液體化合物。選擇性非常高，因為所用化學藥品可以非常精確地適應各個薄膜。對于大多數解決方案，選擇性大于100：1。

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