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標題: 拆解一款十分昂貴的掃描電鏡電子槍 [打印本頁]

作者: hawai1314 時間: 2020-8-4 10:26
標題: 拆解一款十分昂貴的掃描電鏡電子槍

大家好~我又來拆電鏡了!

為啥要拆電子槍呢?這個話題要從遙遠的2019年說起，那時還沒有病毒爆發，那時還沒有過年放假，深圳一位老大哥看我折騰的難受，于是說要支援我半套殘廢的鏡子直接研究，于是乎鏡子就在今年4月份到家了。
但是呢這玩意沒有驅動部分，沒有電控部分也沒有圖紙手冊，所以想要知道電子槍上這一大把電纜的連接定義，就只能拆了。

這套鏡子到家之后經過別扭的拆解，上樓組裝真空系統，從到處漏氣收拾到能抽到5e-6Torr，難為了我一個多月，眼看著收拾利索的真空系統要拆解破壞重新來調，心情格外蛋疼但是不拆也沒辦法，找不到接線定義等于廢鐵，最后糾結一個多月(其實是懶)決定開干!
廢話不多說了上圖各位開始看戲
首先上圖鏡子組裝完之后鏡體和自己焊接的不銹鋼角鐵機架(電控部分還沒做只做了真空系統邏輯控制部分)

電子槍頂端燈絲倉，打開可以看到里面的韋氏冒(柵極)里面包裹的是燈絲

透過電子槍真空管路接口向內看，可以看到電子槍的兩個電極——柵極和陽極

韋氏冒拔下來可以看到里面的燈絲，放大可以看到發叉型燈絲的尖端在柵極孔的正中心

OK 開拆電子槍本體，電子槍總覽

去掉燈絲柵極組件的陽極帽部分

特寫，可以看到陽極帽上被電子打過的痕跡，可以猜測這個鏡子用的時間不算短

拆掉第一級鏡筒組件，可以看到第一層電子透鏡(電子透鏡用來匯聚電子束)

第一級電子透鏡光柵特寫

拆掉螺絲拿出第一級電子透鏡和陽極帽總成，可以看到里面的電子透鏡線圈

線圈特寫，此組線圈用來對電子槍的電子束光斑進行形變矯正，每次更換燈絲之后陰極(燈絲)柵極相對于陽極的位置就會發生微小的變化。
這些變化會導致電子束打在最終樣品上的光斑由圓形變成橢圓形，導致電鏡在高倍率(10000X)下相場模糊或者被觀測物體有形變。
這時就需要用到這兩組線圈來校正光斑，使光斑達到最完美的圓形來消除這種畸變